张明杰

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洁净室:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱人、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。(GB50073-2013) 洁净度:以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。(GB50073-2013...

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